旋轉(zhuǎn)噴淋清洗是浸入式清洗的一種變體。該系統(tǒng)普通包括自動配液系統(tǒng)、清洗腔體和廢液回收系統(tǒng)。噴淋清洗在密閉的工作室內(nèi)完成化學(xué)清洗、去離子水清洗、

旋轉(zhuǎn)自旋枯燥等工序，減少了清洗過程中每一步人為要素的影響。在噴淋清洗中，由于旋轉(zhuǎn)和噴淋的作用，硅片外表的溶液愈加平均，硅片外表的溶液總是新

穎的。經(jīng)過工藝時間的設(shè)定，能夠準(zhǔn)確控制硅片的清洗和腐蝕效果，到達(dá)良好的分歧性。密閉的工作室內(nèi)能夠隔離化學(xué)溶液的揮發(fā)，減少溶液的損失，減少溶

液蒸汽對人體和環(huán)境的危害。該系統(tǒng)被貯存在不同的化學(xué)試劑中，并在運用時抵達(dá)噴嘴行進(jìn)行混合，堅持其新穎，以更大限度地進(jìn)步其在清洗過程中更快反響

時間的潛力。當(dāng)?shù)獨獗贿\用時，液體經(jīng)過一個小噴嘴放射到硅片外表構(gòu)成一層細(xì)霧，以到達(dá)更好的清洗目的。該辦法適用于去除氧化膜或有機物。由于化學(xué)物

質(zhì)停留在硅片外表的時間較短，在一定時間內(nèi)清洗反響是不好的。噴涂過程中化學(xué)試劑用量少，有利于本錢控制和環(huán)境維護(hù)。